天津大学滨海工业研究院有限公司专利开放许可又上新了！

专利三

发明名称：

一种面向图形化金刚石薄膜制备的微增减材复合制造方法

申请日：2017.12.30

申请号/专利号：201711498142.5

专利权人：天津大学滨海工业研究院有限公司

分类号：C23C16/27(2006.01)

公开日/公告日：2020.04.07

公开号/公告号：CN108220915B

应用领域：新材料

摘要：

一种面向图形化金刚石薄膜制备的微增减材复合制造方法，包括：利用激光刻蚀在金刚石薄膜表面进行图形化微细加工，实现微减材制造；利用化学气相沉积对图形化的金刚石薄膜进行再沉积处理，包括：去除图形化金刚石薄膜表面的非金刚石碳相，修复图形化金刚石薄膜表面损伤，同时去除图形化金刚石膜内激光刻蚀加工残余应力，实现微增材制造；重复上述过程，直至形成微细结构完整的图形化金刚石薄膜。本发明能够实现微增材制造，最终获得高质量、高精度并且微细结构完整的图形化金刚石薄膜。